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專利名稱: MOS晶體管及其形成方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201010618284.2
申請日期: 2010-12-31
專利號: ZL201010618284.2
第一發(fā)明人: 鐘匯才
其它發(fā)明人: 鐘匯才;梁擎擎;楊達(dá);趙超
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: ZL201010618284.2
專利摘要:
其它備注: 中國科學(xué)院微電子研究所