專利名稱: | 一種亞波長極紫外金屬透射光柵及其制作方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201110279269.4 |
申請日期: | 2011-09-20 |
專利號: | 201110279269.4 |
第一發(fā)明人: | 李海亮,王艷花 |
其它發(fā)明人: | 李海亮;謝常青;劉明;李冬梅;史麗娜;朱效立 |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | 授權 |
專利證書號: | 201110279269.4 |
專利摘要: | |
其它備注: | 中國科學院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出