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專利名稱: 一種亞波長極紫外金屬透射光柵及其制作方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201110279269.4
申請日期: 2011-09-20
專利號: 201110279269.4
第一發(fā)明人: 李海亮,王艷花
其它發(fā)明人: 李海亮;謝常青;劉明;李冬梅;史麗娜;朱效立
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權日期:
繳費情況:
實施情況: 授權
專利證書號: 201110279269.4
專利摘要:
其它備注: 中國科學院微電子研究所