| 專利名稱: | 一種易于填充的溝槽電容及其制備方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201110176559.6 |
| 申請日期: | 2011-06-28 |
| 專利號: | 201110176559.6 |
| 第一發(fā)明人: | 王惠娟,王雅蘭 |
| 其它發(fā)明人: | 王惠娟;萬里兮;李寶霞;趙寧 |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號: | 201110176559.6 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 中國科學院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出