| 專利名稱: | 基于淺溝道隔離技術(shù)的化學(xué)機(jī)械研磨終點(diǎn)檢測方法及系統(tǒng) |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201110335135.X |
| 申請日期: | 2011-10-28 |
| 專利號: | ZL201110335135.X |
| 第一發(fā)明人: | 陳嵐,徐勤志,李薇 |
| 其它發(fā)明人: | 徐勤志;陳嵐;阮文彪;葉甜春 |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號: | ZL201110335135.X |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出