| 專(zhuān)利名稱: | 提高聚四氟乙烯薄膜親水性的原子層沉積方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明專(zhuān)利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110421739.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2011-12-15 |
| 專(zhuān)利號(hào): | ZL 201110421739.6 |
| 第一發(fā)明人: | 萬(wàn)軍 |
| 其它發(fā)明人: | 萬(wàn)軍;趙柯杰;黃成強(qiáng);饒志鵬;陳波;李超波;夏洋;呂樹(shù)玲;石莎莉 |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | ZL 201110421739.6 |
| 專(zhuān)利摘要: | |
| 其它備注: | 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出