| 專利名稱: | 一種擴(kuò)散阻擋層及其制備方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201110033129.9 |
| 申請日期: | 2011-01-31 |
| 專利號: | |
| 第一發(fā)明人: | 王文東 |
| 其它發(fā)明人: | 王文東 夏洋 李超波 李勇滔 劉邦武 劉訓(xùn)春 |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 公開 |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 北京泰龍電子技術(shù)有限公司 ,中國科學(xué)院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出