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專利名稱: 晶源傳送裝置以及晶源傳送方法
專利類別: 國際專利
申請?zhí)?/strong>: PCT/CN2011/072592
申請日期: 2011-04-11
專利號: US8834155
第一發(fā)明人: 范正萍
其它發(fā)明人: 李春龍;李俊峰
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權日期:
繳費情況:
實施情況: 授權
專利證書號: US8834155
專利摘要:
其它備注: 中國科學院微電子研究所