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專(zhuān)利名稱(chēng): 3D集成電路結(jié)構(gòu)及其形成方法
專(zhuān)利類(lèi)別: 國(guó)際專(zhuān)利
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: PCT/CN2011/071166
申請(qǐng)日期: 2011-02-22
專(zhuān)利號(hào): US8,796.852
第一發(fā)明人: 范正萍
其它發(fā)明人: 朱慧瓏
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專(zhuān)利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專(zhuān)利證書(shū)號(hào): US8,796.852
專(zhuān)利摘要:
其它備注: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所