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專利名稱: 一種新型碳基材料和金屬接觸的制作方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201210075810.4
申請日期: 2012-03-21
專利號: 201210075810.4
第一發(fā)明人: 陳嬌
其它發(fā)明人: 金智;陳嬌;麻芃;王顯泰;潘洪亮;彭松昂;郭建楠
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: 201210075810.4
專利摘要:
其它備注: 中國科學(xué)院微電子研究所