| 專利名稱: | 一種應(yīng)用于CMP工藝的護(hù)圈裝置 |
| 專利類別: | 實(shí)用新型 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201320865754.4 |
| 申請日期: | 2013-12-25 |
| 專利號(hào): | ZL201320865754.4 |
| 第一發(fā)明人: | 劉宏偉 |
| 其它發(fā)明人: | 劉宏偉;陳嵐 |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號(hào): | ZL201320865754.4 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出