專利名稱: | 半導(dǎo)體器件制造方法 |
專利類別: | 國際專利 |
申請?zhí)?/strong>: | PCT/CN2012/081008 |
申請日期: | 2012-09-05 |
專利號: | US8,883,584 |
第一發(fā)明人: | |
其它發(fā)明人: | 孟令款 |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | US8,883,584 |
專利摘要: | |
其它備注: | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出