專利名稱: | 一種用于單粒子激光脈沖試驗功率VDMOS器件封裝方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201320739599.1 |
申請日期: | 2013-11-20 |
專利號: | 201320739599.1 |
第一發(fā)明人: | 高博 |
其它發(fā)明人: | 高博;丁凱凱;劉剛;王立新;韓鄭生;張彥飛;孫博韜 |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | 201320739599.1 |
專利摘要: | |
其它備注: | 中國科學院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出