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專利名稱: 一種夾層式壓力傳感器封裝結(jié)構(gòu)及工藝方法
專利類別: 實(shí)用新型
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 201320592233.6
申請(qǐng)日期: 2013-09-24
專利號(hào): 201320592233.6
第一發(fā)明人: 周云燕
其它發(fā)明人: 周云燕;宋見;王啟東;曹立強(qiáng)
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專利證書號(hào): 201320592233.6
專利摘要:
其它備注: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所