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專利名稱: 新型TSS(Through Silicon Strip)三維互連結(jié)構(gòu)
專利類別: 實(shí)用新型
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 201320608900.5
申請(qǐng)日期: 2013-09-29
專利號(hào): 201320608900.5
第一發(fā)明人: 李君,王雅蘭
其它發(fā)明人: 李君;曹立強(qiáng);戴風(fēng)偉
國外申請(qǐng)日期:
國外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專利證書號(hào): 201320608900.5
專利摘要:
其它備注: 中國科學(xué)院微電子研究所