| 專利名稱: | 一種PECVD系統(tǒng) |
| 專利類別: | 實(shí)用新型 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201320892004.6 |
| 申請日期: | 2013-12-31 |
| 專利號: | ZL201320892004.6 |
| 第一發(fā)明人: | 劉杰 |
| 其它發(fā)明人: | 劉杰;劉鍵;冷興龍;屈芙蓉;李超波;夏洋 |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號: | ZL201320892004.6 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
科研產(chǎn)出