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專利名稱: 砷化鎵襯底改進的快速減薄方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201010577694.7
申請日期: 2010-12-07
專利號: 201010577694.7
第一發(fā)明人: 汪寧
其它發(fā)明人: 汪寧;陳中子;陳曉娟;劉新宇
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: 201010577694.7
專利摘要:
其它備注: 中國科學(xué)院微電子研究所