專利名稱: | 一種半導(dǎo)體設(shè)備中黑色Y2O3陶瓷涂層制造方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201110396482.3 |
申請日期: | 2011-12-02 |
專利號: | ZL 201110396482.3 |
第一發(fā)明人: | 邵花;王文東;劉邦武;夏洋;李勇滔 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出