專利名稱: | 鍺襯底上制備金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201110090483.5 |
申請日期: | 2011-04-12 |
專利號: | 201110090483.5 |
第一發(fā)明人: | 胡愛斌;許高博;徐秋霞 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
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科研產(chǎn)出