| 專利名稱: | 淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)、其制作方法及基于該結(jié)構(gòu)的器件 |
| 專利類別: | 國際專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | PCT/CN2011/001281 |
| 申請(qǐng)日期: | 2011-08-03 |
| 專利號(hào): | US9070744 |
| 第一發(fā)明人: | 閆江 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出