| 專利名稱: | 一種氣體分配器及原子層沉積設(shè)備 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201210001944.1 |
| 申請(qǐng)日期: | 2012-01-05 |
| 專利號(hào): | ZL 201210001944.1 |
| 第一發(fā)明人: | 張艷清;夏洋;李超波;萬(wàn)軍;呂樹玲;陳波;石莎莉;李楠 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出