專利名稱: | 一種用于原子層沉積設(shè)備的氣體分配器 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201210002317.X |
申請日期: | 2012-01-05 |
專利號: | ZL 201210002317.X |
第一發(fā)明人: | 張艷清;夏洋;李超波;萬軍;呂樹玲;陳波;石莎莉;李楠 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出