| 專利名稱: | 鋁柵CMP化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)仿真及版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201210581850.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2012-12-27 |
| 專利號(hào): | ZL201210581850.6 |
| 第一發(fā)明人: | 徐勤志;陳嵐 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出