專利名稱: | 一種對InP襯底進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201310068591.1 |
申請日期: | 2013-03-05 |
專利號(hào): | 201310068591.1 |
第一發(fā)明人: | 汪寧 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | 授權(quán) |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出