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專利名稱: 一種硅片甩干系統(tǒng)
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201210260896.8
申請日期: 2012-07-25
專利號: 201210260896.8
第一發(fā)明人: 熊文娟;王大海;蔣浩杰
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號:
專利摘要:
其它備注: