專利名稱: | 一種基于硅基鍺外延的波導(dǎo)近紅外探測器及其制備方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201210576133.4 |
申請日期: | 2012-12-26 |
專利號: | 201210576133.4 |
第一發(fā)明人: | 劉洪剛,郭浩,陳洪鈞,張雄,?;|,薛百清,韓樂,王盛凱 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
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科研產(chǎn)出