專利名稱: | 一種靶源預(yù)整形增強(qiáng)的極紫外光發(fā)生裝置 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201310003089.2 |
申請日期: | 2013-01-05 |
專利號: | ZL 201310003089.2 |
第一發(fā)明人: | 宗明成;黃有為;陳浩;李世光;蓋洪峰 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出