專利名稱: | 一種對硅酸鎵鑭晶片進(jìn)行清洗的方法 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201410155237.7 |
申請日期: | 2014-04-17 |
專利號: | 201410155237.7 |
第一發(fā)明人: | 李冬梅;周磊;梁圣法;李小靜;張浩;謝常青;劉明 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | |
專利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出