| 專利名稱: | 采用金屬硅化物的功率半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及制備方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201210421076.2 |
| 申請(qǐng)日期: | 2012-10-29 |
| 專利號(hào): | 201210421076.2 |
| 第一發(fā)明人: | 徐承福;朱陽(yáng)軍;王波;盧爍今;吳凱;陳宏 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出