| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 一種可實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理的原子層沉積設(shè)備 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明專(zhuān)利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201110300813.9 |
| 申請(qǐng)日期: | 2011-09-29 |
| 專(zhuān)利號(hào): | 201110300813.9 |
| 第一發(fā)明人: | 王燕;李勇滔;夏洋;趙章琰;石莎莉 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | 201110300813.9 |
| 專(zhuān)利摘要: | |
| 其它備注: | 八室一組 |
科研產(chǎn)出