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專利名稱: 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201110421472.0
申請日期: 2011-12-15
專利號: 201110421472.0
第一發(fā)明人: 竇偉;李楠;李超波;夏洋
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: 201110421472.0
專利摘要:
其它備注: 八室一組