專利名稱: | 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 |
專利類別: | 發(fā)明專利 |
申請?zhí)?/strong>: | 201110421472.0 |
申請日期: | 2011-12-15 |
專利號: | 201110421472.0 |
第一發(fā)明人: | 竇偉;李楠;李超波;夏洋 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | 授權(quán) |
專利證書號: | 201110421472.0 |
專利摘要: | |
其它備注: | 八室一組 |
科研產(chǎn)出