| 專利名稱: | 一種化學(xué)機(jī)械研磨液配置優(yōu)化的方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201310150555.X |
| 申請日期: | 2013-04-26 |
| 專利號: | ZL201310150555.X |
| 第一發(fā)明人: | 徐勤志;陳嵐 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號: | ZL201310150555.X |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | EDA中心 |
科研產(chǎn)出