| 專利名稱: | FinFET及其制造方法 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201210141545.5 |
| 申請(qǐng)日期: | 2012-05-09 |
| 專利號(hào): | 201210141545.5 |
| 第一發(fā)明人: | 朱慧瓏;何衛(wèi);梁擎擎;尹海洲;駱志炯 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號(hào): | 201210141545.5 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出