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專利名稱: 一種低溫晶圓鍵合方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201210491190.2
申請日期: 2012-11-27
專利號: 201210491190.2
第一發(fā)明人: 劉洪剛;李運;王盛凱;張雄;郭浩;孫兵;?；|;趙威
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: 201210491190.2
專利摘要:
其它備注: 高頻高壓中心