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專利名稱: 具有精密功率檢測器的射頻電源
專利類別: 國際專利
申請?zhí)?/strong>: PCT/CN2012/082209
申請日期: 2012-09-27
專利號: US9515567
第一發(fā)明人: 李勇滔;趙章琰;秦威;李英杰;夏洋
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: US9515567
專利摘要:
其它備注: 八室一組