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專利名稱: 用于N-Zr共摻氧化鋅薄膜的制備方法
專利類別: 發(fā)明專利
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 201210531516.X
申請(qǐng)日期: 2012-12-11
專利號(hào): 201210531516.X
第一發(fā)明人: 盧維爾;夏洋;李超波;解婧;張陽
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專利證書號(hào): 201210531516.X
專利摘要:
其它備注: 八室一組