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專利名稱: 原子層沉積制備N-Zr共摻的氧化鋅薄膜
專利類別: 發(fā)明專利
申請?zhí)?/strong>: 201210533437.2
申請日期: 2012-12-11
專利號: 201210533437.2
第一發(fā)明人: 盧維爾;夏洋;李超波;董亞斌
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況: 授權(quán)
專利證書號: 201210533437.2
專利摘要:
其它備注: 八室一組