| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 降低電子束光刻時(shí)光刻膠粗糙度的方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明專(zhuān)利 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 201210353546.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2012-09-20 |
| 專(zhuān)利號(hào): | 201210353546.6 |
| 第一發(fā)明人: | 孟令款;賀曉彬;李春龍 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | 授權(quán) |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | 201210353546.6 |
| 專(zhuān)利摘要: | |
| 其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出