| 專利名稱: | 柵極結(jié)構(gòu)的形成方法、半導體器件的形成方法以及半導體器件 |
| 專利類別: | 發(fā)明專利 |
| 申請?zhí)?/strong>: | 201210246572.9 |
| 申請日期: | 2012-07-16 |
| 專利號: | 201210246572.9 |
| 第一發(fā)明人: | 楊紅;馬雪麗;王文武;韓鍇;王曉磊;殷華湘;閆江 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | 授權(quán) |
| 專利證書號: | 201210246572.9 |
| 專利摘要: | |
| 其它備注: | 十室 |
科研產(chǎn)出