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專利名稱: 半導(dǎo)體器件制造方法
專利類別: 國際專利
申請?zhí)?/strong>: 14/725,496
申請日期: 2015-05-29
專利號: 9,337,102
第一發(fā)明人: 殷華湘;秦長亮;馬小龍;王桂磊;朱慧瓏
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實施情況: 授權(quán)
專利證書號: 9,337,102
專利摘要:
其它備注: 先導(dǎo)中心