| 專著名稱: | 半導(dǎo)體制造技術(shù) |
| 研究中心: | |
| 首席研究員: | |
| 主編單位: | |
| 出版時(shí)間: | 2004年1月 |
| 出版社: | 電子工業(yè)出版社 |
| 主編: | （美）Michael Quirk,Julian Serda |
| 編寫人員: | 韓鄭生等譯，海潮和、徐秋霞等審校 |
| 總字?jǐn)?shù): | |
| 編者字?jǐn)?shù): | |
| 著作性質(zhì): | 半導(dǎo)體制造 |
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| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出