“IC創(chuàng)新獎”由中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟（大聯(lián)盟）于2018年創(chuàng)立，旨在重點鼓勵集成電路技術(shù)創(chuàng)新、成果產(chǎn)業(yè)化、產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作，以體現(xiàn)大聯(lián)盟倡導(dǎo)全產(chǎn)業(yè)鏈合作的理念。獎項由來自國內(nèi)集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的領(lǐng)軍人才、戰(zhàn)略科學(xué)家以及金融專家等組成的提名委員會，采取“委員獨立”提名制，并結(jié)合頂級權(quán)威專家“獨立評審”產(chǎn)生。獎項分為技術(shù)創(chuàng)新獎、成果產(chǎn)業(yè)化獎、產(chǎn)業(yè)鏈合作獎和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新突出貢獻(xiàn)獎。IC創(chuàng)新獎評選活動已成功舉辦四屆，共有全國380余家單位的近600個優(yōu)秀項目（產(chǎn)品、技術(shù)、合作團(tuán)隊或個人等）參與評選，累計頒發(fā)獎項80余項。其中，第四屆“IC創(chuàng)新獎”征集活動面向全行業(yè)深度挖掘優(yōu)秀項目，共征集126家單位的159個項目，最終共有16個項目和4位個人獲獎。第四屆“IC創(chuàng)新獎”于2021年3月20日在大聯(lián)盟組織召開的“2021集成電路產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會”上正式頒布。微電子所參股企業(yè)深圳中科飛測科技股份有限公司的“SPRUCE系列無圖形晶圓表面缺陷光學(xué)檢測設(shè)備”項目從眾多項目中脫穎而出，最終斬獲“IC創(chuàng)新獎”的技術(shù)創(chuàng)新獎。 

　　深圳中科飛測科技股份有限公司成立于2014年12月31日，總部位于深圳，面積7000平方米，其中有1250平方米的萬級潔凈廠房和200平方米的光學(xué)實驗室。在北京和深圳均設(shè)立研發(fā)中心，并在全國各地設(shè)有產(chǎn)品應(yīng)用服務(wù)中心。最具代表的產(chǎn)品和服務(wù)有表面缺陷檢測系統(tǒng)SPRUCE系列，三維形貌量測系統(tǒng)SKYVERSE CYPRESS系列，智能視覺缺陷檢測系統(tǒng)BIRCH系列，3C電子行業(yè)精密加工玻璃手機外殼檢測系統(tǒng) TOTARA系列。 

　　在國家科技重大專項的大力支持下，中科飛測研發(fā)團(tuán)隊經(jīng)過多年的不懈努力，成功自主研發(fā)出應(yīng)用于90-28nm節(jié)點的SPRUCE系列無圖形晶圓表面缺陷光學(xué)檢測設(shè)備。目前產(chǎn)品銷量突破50臺套，客戶群體覆蓋國內(nèi)數(shù)十家主要半導(dǎo)體廠商，并成功銷往中國臺灣地區(qū)。SPRUCE系列產(chǎn)品的成功，一舉打破了國外供應(yīng)商的長期壟斷，實現(xiàn)了該類設(shè)備的國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化，必將助力國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)及檢測設(shè)備的崛起與騰飛。 

SPRUCE系列設(shè)備