6月30日，北京科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院納米材料與技術(shù)專業(yè)的30余名大二學(xué)生來到微電子所參觀實(shí)習(xí)。 

　　同學(xué)們首先聽取了微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心副研究員解婧關(guān)于集成電路制造工藝與設(shè)備的精彩講解。解婧從集成電路的行業(yè)背景、微電子工藝及設(shè)備的技術(shù)、科研型設(shè)備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀分析等方面，介紹了集成電路行業(yè)的專業(yè)知識(shí)以及未來的發(fā)展前景。她指出，作為技術(shù)制造業(yè)的最高端，集成電路產(chǎn)業(yè)正在不斷改善人類的生活，強(qiáng)大的集成電路裝備正是集成電路發(fā)展的重要基石。她介紹了微電子儀器設(shè)備研發(fā)中心自行研發(fā)生產(chǎn)的刻蝕機(jī)、等離子體化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備和物理濺射沉積設(shè)備的工作原理、創(chuàng)新技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。報(bào)告會(huì)后，同學(xué)們分別參觀了微納加工平臺(tái)、集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)平臺(tái)，觀看了工作人員的演示操作，對(duì)不同類型的微電子設(shè)備及操作原理有了一定了解。 

　　納米材料與集成電路發(fā)展密不可分。本次活動(dòng)對(duì)于在校學(xué)生是一次難得的實(shí)踐機(jī)會(huì)，同學(xué)們將所學(xué)所見相結(jié)合，通過與一線科研人員的交流，加深了對(duì)書本知識(shí)的理解，有助于專業(yè)知識(shí)的學(xué)習(xí)。 

　　報(bào)告現(xiàn)場(chǎng) 

　　參觀工藝線