| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請?zhí)?/th> | 申請日期 |
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| 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 | 竇偉,李楠,李超波,夏洋; | 201120527128.5 | 2011-12-15 |
| 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 | 竇偉,李楠,李超波,夏洋; | 201120527005.1 | 2011-12-15 |
| 原子層薄膜沉積系統(tǒng) | 夏洋,李超波,陳波,萬軍,呂樹玲,馬舒; | 201130473781.3 | 2011-12-13 |
| 一種納米電子器件及其制作方法 | 龍世兵，劉明，李維龍，賈銳; | 200910077523.5 | 2009-01-21 |
| 一種平面結(jié)構(gòu)有機場效應(yīng)晶體管的制作方法 | 劉舸，劉明，劉興華，商立偉，王宏，柳江; | 200910077679.3 | 2009-02-11 |
| 采用體有源層材料作為前驅(qū)體誘導(dǎo)有源層有序生長的方法 | 劉舸，劉明，劉興華，商立偉，王宏，柳江; | 200910077674.0 | 2009-02-11 |
| 多功能離子束濺射設(shè)備 | 龍世兵，劉明，陳寶欽，謝常青，賈銳，徐連生; | 200910083499.6 | 2009-05-06 |
| 全球定位系統(tǒng)接收機的低成本授時與同步方法及設(shè)備 | 鄭睿，陳杰，李健; | 200710176937.4 | 2007-11-07 |
| 寄生GPS解算程序和信息服務(wù)程序通信方法 | 鄭睿，魯振鵬，李健，陳杰; | 200710178319.3 | 2007-11-28 |
| 二氧化碳低溫氣溶膠半導(dǎo)體清洗設(shè)備 | 高超群，景玉鵬; | 200810227478.2 | 2008-11-26 |
| 基于濾波結(jié)構(gòu)分光的紅外光譜式MEMES氣敏傳感器 | 景玉鵬，高超群; | 200910087345.4 | 2009-06-17 |
| 一種制作納米級圖形的方法 | 傅劍宇，陳大鵬，景玉鵬，歐毅，葉甜春; | 200710177797.2 | 2007-11-21 |
| 一種制備金屬性金屬氮化物薄膜的方法 | 陳世杰，王文武; | 200810226687.5 | 2008-11-19 |
| 一種納米壓印光刻機 | 姜驥，謝常青，岑專專，商立偉，劉興華，劉明; | 200710178789.X | 2007-12-05 |
| 采用有源層圖形化制備有機場效應(yīng)晶體管的方法 | 劉舸，劉明，劉興華，商立偉，王宏，柳江; | 200810240085.5 | 2008-12-17 |
科研產(chǎn)出