| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請?zhí)?/th> | 申請日期 |
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| 一種利用混合溶劑相剝離石墨制備石墨烯的方法 | 張陽,解婧,羅巍,李超波,夏洋; | 201110428499.2 | 2011-12-20 |
| 射頻連接裝置 | 李勇滔,趙章琰,秦威,李英杰,夏洋; | 201110399288.0 | 2011-12-05 |
| 射頻功率放大模塊及具有散熱風道的大功率射頻電源 | 李勇滔,秦威,趙章琰,李英杰,夏洋; | 201110410022.1 | 2011-12-09 |
| 提高聚四氟乙烯薄膜親水性的原子層沉積方法 | 萬軍,趙柯杰,黃成強,饒志鵬,陳波,李超波,夏洋,呂樹玲,石莎莉; | 201110421739.6 | 2011-12-15 |
| 摻氮二氧化鈦薄膜的制備方法 | 萬軍,趙柯杰,黃成強,饒志鵬,陳波,李超波,夏洋,呂樹玲,石莎莉; | 201110421550.7 | 2011-12-15 |
| 原子層薄膜沉積系統(tǒng) | 夏洋,李超波,陳波,萬軍,呂樹玲,馬舒; | 201130473781.3 | 2011-12-13 |
| 一種PIII工藝流程控制和在線劑量、均勻性檢測方法 | 汪明剛,李超波,屈芙蓉,夏洋; | 201110421626.6 | 2011-12-15 |
| 一種PIII工藝流程控制和在線劑量、均勻性檢測裝置 | 汪明剛,李超波,屈芙蓉,夏洋; | 201120527096.9 | 2011-12-15 |
| 一種PIII工藝流程控制和在線劑量、均勻性檢測裝置 | 汪明剛,李超波,屈芙蓉,夏洋; | 201110421859.6 | 2011-12-15 |
| 一種等離子體腔室內襯結構 | 屈芙蓉,李超波,陳瑤,夏洋; | 201110413562.5 | 2011-12-13 |
| 半導體腔室用壓片裝置 | 李超波,屈芙蓉,陳瑤,劉傳欽,夏洋; | 201110408402.1 | 2011-12-09 |
| 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 | 竇偉,李楠,李超波,夏洋; | 201120527005.1 | 2011-12-15 |
| 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 | 竇偉,李楠,李超波,夏洋; | 201110421748.5 | 2011-12-15 |
| 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 | 竇偉,李楠,李超波,夏洋; | 201120527128.5 | 2011-12-15 |
| 電感耦合等離子體線圈及等離子體注入裝置 | 竇偉,李楠,李超波,夏洋; | 201110421472.0 | 2011-12-15 |
科研產出