| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請?zhí)?/th> | 申請日期 |
|---|---|---|---|
| 一種控制注入結深度的方法 | 李超波,汪明剛,夏洋; | 201110411591.8 | 2011-12-12 |
| 一種用于等離子體浸沒注入中控制注入元素分布陡度的方法 | 汪明剛,李超波,夏洋; | 201110412556.8 | 2011-12-12 |
| 一種等離子體浸沒注入電極結構 | 劉杰,屈芙蓉,李超波,夏洋; | 201110412530.3 | 2011-12-12 |
| 一種等離子體浸沒注入裝置 | 李超波,劉杰,屈芙蓉,夏洋; | 201110412440.4 | 2011-12-12 |
| 一種半導體設備中黑色Y2O3陶瓷涂層制造方法 | 邵花,王文東,劉邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396482.3 | 2011-12-02 |
| 一種三陰極等離子噴涂技術制備Y2O3陶瓷涂層的方法 | 王文東,劉邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396560.X | 2011-12-02 |
| 一種黑色Y2O3陶瓷涂層的制備方法 | 邵花,王文東,劉邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396423.6 | 2011-12-02 |
| 一種真空等離子噴涂技術制備Y2O3陶瓷涂層的方法 | 邵花,王文東,劉邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396373.1 | 2011-12-02 |
| 一種制備Y2O3陶瓷涂層的改進方法 | 邵花,王文東,劉邦武,夏洋,李勇滔; | 201110394635.0 | 2011-12-02 |
| 一種等離子氫處理制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法 | 邵花,王文東,劉邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396196.7 | 2011-12-02 |
| 一種晶圓級陽極鍵合方法 | 羅巍,解婧,張陽,李超波,夏洋; | 201110395020.X | 2011-12-02 |
| 一種抗單粒子翻轉的Latch型靈敏放大器 | 于芳,喬寧,趙凱,高見頭; | 201110421648.2 | 2011-12-16 |
| 一種應用于對特定結構FPGA進行測試的導航映射方法 | 于芳,張倩莉; | 201110421639.3 | 2011-12-16 |
| 對現(xiàn)場可編程門陣列中查找表延遲故障進行檢測的方法 | 于芳,趙巖; | 201110424160.5 | 2011-12-16 |
| 一種用于等離子體浸沒注入中劑量檢測裝置 | 李超波,汪明剛,屈芙蓉,夏洋; | 201110412965.8 | 2011-12-12 |
科研產(chǎn)出