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專利

專利名稱 發(fā)明人 申請?zhí)?/th> 申請日期
一種新型的具有排氣功能的常壓等離子體自由基清洗噴槍 王守國、趙玲利; 201110228265.3 2011-08-10
一種新型的常壓雙介質(zhì)阻擋扁口型活性自由基清洗設(shè)備 王守國,賈少霞; 201110209427.9 2011-07-26
一種黑硅太陽能電池表面的鈍化方法 夏洋,劉邦武,鐘思華,李超波,李勇滔; 201110380033.X 2011-11-25
等離子體浸沒離子注入機(jī) 屈芙蓉,李楠,李超波,夏洋,李勇滔; 201130445442.4 2011-11-29
具有精密功率檢測器的射頻電源 李勇滔 趙章琰 秦威 李英杰 夏洋; 201110389185.6 2011-11-30
一種用于進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的勻氣盤 李楠、席峰、李勇滔、張慶釗、夏洋; 201110388396.8 2011-11-29
一種新型勻氣結(jié)構(gòu) 李楠、席峰、李勇滔、張慶釗、夏洋; 201110387800.X 2011-11-29
模塊化離子注入機(jī)控制系統(tǒng) 王蒙 李勇滔 趙章琰 李超波 夏洋; 201110391302.2 2011-11-30
離子注入機(jī)控制系統(tǒng) 王蒙 李勇滔 趙章琰 李超波 夏洋; 201110391341.2 2011-11-30
離子注入機(jī) 王蒙 李勇滔 趙章琰 李超波 夏洋; 201110391312.6 2011-11-30
基于虛擬儀器的注入機(jī)控制系統(tǒng) 王蒙 李勇滔 趙章琰 李超波 夏洋; 201110391317.9 2011-11-30
基于ARM的嵌入式注入機(jī)控制系統(tǒng) 王蒙 李勇滔 趙章琰 李超波 夏洋; 201110389219.1 2011-11-30
一種Y2O3耐侵蝕陶瓷涂層的改進(jìn)方法 邵花,王文東,夏洋,李勇滔; 201110328346.0 2011-10-26
一種改進(jìn)性能的Y2O3耐侵蝕陶瓷涂層的制備方法 邵花,王文東,夏洋,李勇滔; 201110328241.5 2011-10-26
一種金屬氮化物阻擋層的制備方法 王文東,夏洋,李超波,李勇滔,劉訓(xùn)春; 201110285513.8 2011-09-23