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專利

專利名稱 發(fā)明人 申請(qǐng)?zhí)?/th> 申請(qǐng)日期
提高隔離氧化物CMP均勻性的方法 王桂磊;楊濤;李俊峰;趙超; 201110257855.9 2011-09-01
半導(dǎo)體器件及其制造方法 羅軍;趙超; 201110234502.7 2011-08-16
高壓器件的外延層制造方法 王紅麗;李俊峰; 201110235330.5 2011-08-16
降低HDPCVD缺陷的方法 孟令款; 201110187767.6 2011-07-06
3D集成電路結(jié)構(gòu)以及檢測(cè)芯片結(jié)構(gòu)是否對(duì)齊的方法 肖衛(wèi)平;朱慧瓏; 201110187333.6 2011-07-05
基于PNPN結(jié)構(gòu)的SRAM電路及其讀寫方法 童小東;梁擎擎; 201110169833.7 2011-06-22
半導(dǎo)體器件及其制造方法 王桂磊;李春龍;趙超;李俊峰; 201110165239.0 2011-06-20
半導(dǎo)體器件及其制造方法 王桂磊;李春龍;趙超;李俊峰; 201110165241.8 2011-06-20
半導(dǎo)體器件中金屬厚度的量測(cè)方法 楊濤;趙超;李俊峰;閆江;陳大鵬; 201110156411.6 2011-06-11
避免氧化爐管二氯乙烯失效的方法和裝置 李春龍，王桂磊，李俊峰，趙超; 201110157046.0 2011-06-11
金屬柵CMP后的制程監(jiān)控方法 楊濤;趙超;李俊峰;閆江;陳大鵬; 201110150043.4 2011-06-03
后柵工藝移除多晶硅假柵制程的監(jiān)控方法 楊濤;趙超;李俊峰;閆江;陳大鵬; 201110149722.X 2011-06-03
化學(xué)機(jī)械平坦化后清洗晶圓的方法 楊濤;趙超;李俊峰; 201110149721.5 2011-06-03
避免半導(dǎo)體制程菜單調(diào)試過程中出錯(cuò)的方法及系統(tǒng) 李春龍，李俊峰; 201110139608.9 2011-05-26
提高淺溝槽隔離化學(xué)機(jī)械平坦化均勻性的方法 楊濤;劉金彪;李俊峰;趙超; 201110125319.3 2011-05-16