| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請?zhí)?/th> | 申請日期 |
|---|---|---|---|
| 層間電介質(zhì)層的平面化方法 | 殷華湘，徐秋霞，孟令款，楊濤，陳大鵬; | PCT/CN2011/071056 | 2011-02-17 |
| 半導(dǎo)體器件的制造方法 | 殷華湘，徐秋霞，許高博，孟令款，楊濤，陳大鵬; | PCT/CN2011/071060 | 2011-02-17 |
| 半導(dǎo)體器件的形成方法 | 朱慧瓏，李春龍，羅軍; | PCT/CN2011/071488 | 2011-03-03 |
| 半導(dǎo)體器件及其形成方法 | 朱慧瓏，吳昊，肖衛(wèi)平; | PCT/CN2011/071485 | 2011-03-03 |
| 半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 朱慧瓏，尹海洲，駱志炯，梁擎擎; | PCT/CN2011/071534 | 2011-03-04 |
| MOSFET及其制造方法 | 朱慧瓏，許淼，梁擎擎; | PCT/CN2011/071512 | 2011-03-04 |
| MOSFET及其制造方法 | 朱慧瓏，許淼，梁擎擎; | PCT/CN2011/071537 | 2011-03-04 |
| 一種提高電子束光刻效率的方法 | 徐秋霞，許高博; | PCT/CN2011/070993 | 2011-02-15 |
| 高K柵介質(zhì)/金屬柵疊層?xùn)沤Y(jié)構(gòu)刻蝕后聚合物去除方法 | 徐秋霞，李永亮; | PCT/CN2011/070996 | 2011-02-15 |
| 懸空鰭片及環(huán)柵場效應(yīng)晶體管的制備方法 | 周華杰，宋毅，徐秋霞; | PCT/CN2011/071062 | 2011-02-17 |
| 接觸電極制造方法和半導(dǎo)體器件 | 朱慧瓏，尹海洲，駱志炯; | PCT/CN2011/071251 | 2011-02-24 |
| 金屬互連結(jié)構(gòu)及金屬層間通孔和互連金屬線的形成方法 | 趙超; | PCT/CN2011/071053 | 2011-02-17 |
| 半導(dǎo)體晶片的制造方法 | 鐘匯才，梁擎擎，趙超; | PCT/CN2011/071303 | 2011-02-25 |
| 半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 朱慧瓏，梁擎擎，駱志炯，尹海洲; | PCT/CN2011/071514 | 2011-03-04 |
| 半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 朱慧瓏，梁擎擎，尹海洲，駱志炯; | PCT/CN2011/071530 | 2011-03-04 |
科研產(chǎn)出