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專利

專利名稱 發(fā)明人 申請(qǐng)?zhí)?/th> 申請(qǐng)日期
一種高頻功率器件的穩(wěn)定網(wǎng)絡(luò) 羅衛(wèi)軍; 200910312949.4 2009-12-31
一種硅基III-V族半導(dǎo)體材料的集成 方法 劉洪剛; 200910312160.9 2009-12-24
一種單時(shí)鐘多速率的OFDM發(fā)射裝置結(jié)構(gòu) 張振東; 200910312115.3 2009-12-24
等離子體刻蝕工藝腔室內(nèi)表面的改性處理方法 劉邦武,王文東,夏洋,李超波; 201010209823.7 2010-06-25
基片離子均勻注入的方法 劉杰,汪明剛,夏洋,李超波,羅威,羅小晨,李勇滔; 201010209816.7 2010-06-25
等離子體浸沒(méi)注入機(jī)的注入離子劑量檢測(cè)控制裝置 汪明剛,劉杰,夏洋,李超波,陳瑤,趙麗莉,李勇滔; 201010255068.6 2010-08-17
一種硅片去膠裝置及方法 王磊,景玉鵬; 201010209822.2 2010-06-25
打孔系統(tǒng)及方法 王磊,景玉鵬; 201010226286.7 2010-07-14
硅片打孔系統(tǒng)及方法 王磊,景玉鵬; 201010226293.7 2010-07-14
清洗系統(tǒng)及方法 王磊,景玉鵬; 201010250914.5 2010-08-11
半導(dǎo)體器件及其制造方法 朱慧瓏,梁擎擎,駱志炯,尹海洲; 201010147601.7 2010-04-14
一種插入式TiN金屬柵疊層結(jié)構(gòu)的制備和刻蝕方法 李永亮,徐秋霞; 201010157530.9 2010-04-21
一種閃存器件及其制造方法 朱慧瓏; 201010162280.8 2010-04-28
3D集成電路及其制造方法 朱慧瓏; 201010189140.X 2010-05-24
一種GaN HEMT器件跨導(dǎo)頻散特性的測(cè)量系統(tǒng)及方法 蒲顏,龐磊,陳曉娟,歐陽(yáng)思華,李艷奎,劉新宇; 201010575278.3 2010-12-07