| 專利名稱 | 發(fā)明人 | 申請?zhí)?/th> | 申請日期 |
|---|---|---|---|
| 半導(dǎo)體器件及其制造方法 | 王桂磊，尹海洲; | 201110029212.9 | 2011-01-26 |
| 半導(dǎo)體器件及其制造方法 | 羅軍，趙超; | 201110021062.7 | 2011-01-18 |
| 半導(dǎo)體器件及其制造方法 | 羅軍，趙超; | 201110020536.6 | 2011-01-18 |
| 微細(xì)結(jié)構(gòu)的光刻方法 | 王紅麗，閆江; | 201110006476.2 | 2011-01-13 |
| 半導(dǎo)體器件及其制造方法 | 羅軍，趙超; | 201110006429.8 | 2011-01-13 |
| 提高打開多晶柵頂化學(xué)機(jī)械平坦化均勻性的方法 | 楊濤，劉金彪，趙超; | 201110005057.7 | 2011-01-11 |
| 用于超淺結(jié)注入的離子源裝置 | 劉金彪,張琦輝,宋希明,張浩,李琳,劉強(qiáng),丁明正,李俊峰,趙超; | 201110004958.4 | 2011-01-11 |
| 提高后柵工程金屬插塞化學(xué)機(jī)械平坦化工藝均勻性的方法 | 楊濤，趙超，李俊峰; | 201110005058.1 | 2011-01-11 |
| 層間電介質(zhì)的近界面平坦化回刻方法 | 孟令款，殷華湘; | 201110003118.6 | 2011-01-07 |
| 一種懸浮結(jié)構(gòu)MEMS器件及其制造方法 | 歐毅,王文武,陳大鵬,葉甜春; | 201110392138.7 | 2011-11-30 |
| 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 尹海洲,許靜,劉云飛; | 201110375108.5 | 2011-11-23 |
| 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 尹海洲,蔣葳,許高博; | 201110362350.9 | 2011-11-15 |
| 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制造方法 | 尹海洲,于偉澤; | 201110351250.6 | 2011-11-08 |
| 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 尹海洲,于偉澤; | 201110306885.4 | 2011-10-11 |
| 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法 | 朱慧瓏,尹海洲,駱志炯; | 201110306988.0 | 2011-10-11 |
科研產(chǎn)出